涡流测厚仪是利用一个带有高频线圈的探头来产生高频磁场,使置于探头下方的待测试样内产生涡流。这种涡流的振幅和相位是探头和待测试样之间的非导电镀层厚度的函数。镀层厚度可从测量仪器上直接读得。
本方法可测量非磁性金属基体上非导电镀层(如铝阳极氧化膜的测厚)、非导体上单层金属镀层,以及非磁性基体与镀层间电导率相差较大的镀(涂)层厚度。影响测量精度的因素与磁性法相似。涡流测厚除了受基体电导率、基体厚度、镀层厚度影响外,还受试样的曲率、表面粗糙度、边缘效应和加在探头上压力大小的影响。测试误差在10%以内。厚度小于3μm的镀层测量精度偏低。